半導体露光装置

高速で飛翔する液体の観察

レーザ励起型プラズマ光源をもちいた最先端半導体露光装置においてレーザ光を照射するターゲット材料(液体キセノンなど)の噴射状態を観察するために、当社のナノパルスライトが使用されています。