반도체의 라이프타임측정기

실리콘잉곳(Silicon ingot)라이프타임측정기
(Napson Corporation)

실리콘 웨이퍼 가공이나 디바이스 제작 프로세스의 금속오염이나 결정 결함의 해석.연구를 위해 케리어 라이프타임* 측정이 점점더 중요시 되고 있습니다. Napson사의 실리콘잉곳 라이프타임 측정기에는 당사의 스트로보스코프를 이용하여 측정규격의 기본이 되는 안정된 라이프타임 측정을 실현 했습니다.

* 라이프타임이란, 스트로보의 섬광을 실리콘 잉곳에 조사했을때, 일시적으로 케리어(플러스나 마이너스 전자)를 증가시켜, 증가 이후의 시간 경과와 함께 케리어가 감소되어 처음의 상태로 돌아가는 일련의 현상을 말합니다. P타입의 실리콘 결정체에서는 통상 플러스전자가 많고(반대로 N타입에서는 마이너스전자가 많다) 스트로보 섬광을 조사하면 마이너스전자가 발생되어(N타입에서는 플러스전자) 이것들이 결합 해서 본래의 상태로 되돌아 가는것으로 알려져 있습니다.