마스터 아바 시작품 제작에 성공 했습니다

진폭120nm、피크수 5개의 마스터 아바 출시 성공


마스터 아바는 웨이비메타・진원도계를 교정하기 위한 지그 입니다。지그 끝단의 원주 부분 측면에 미리 규정된 진폭・피크수를 기준 형태로 보유하고 있습니다。본 제작에는 다양한 방법이 있습니다만、1 µm 이하의 진폭을 안정적으로 제작 하는 것은 어렵다고 생각해 왔습니다。당사는 독자 연구에 의해 、진폭 0.1 µm(100 nm)이하 까지 제작 가능한 가공 방법을 개발, 시작품 제작에 성공 했습니다。사진의「피크형상부분」표면에는、진폭120 nm의 5개의 피크가 가공되어 있습니다。
현재는、진폭100 nm~800 nm、피크수 25개의 마스터 아바제작을 목표로 하고 있습니다。

형상평가

폐사 SWA-100 측정값 진원도117.27 nm(LSC 50 피크)

Talyrond 측정값 진원도126 nm (LSC 50 피크)