マスターアーバの試作に成功しました

振幅120 nm、山数5山のマスターアーバの試作に成功


マスターアーバは、ウェービメータ・真円度計を校正するための治具です。治具先端の円柱部分側面に、あらかじめ規定した振幅・山数の基準形状を持ちます。その製作には様々な手法がありますが、1 µm以下の振幅を安定に製作することは困難とされてきました。当社は独自の研究により、振幅0.1 µm(100 nm)以下まで製作可能な加工方法を開発し、試作に成功しました。写真の「山形状部分」表面には、振幅120 nmの5つの山が加工されています。
現在は、振幅100 nm~800 nm、山数25山のマスターアーバの製作を目指しています。

形状評価

弊社SWA-100 測定値 真円度117.27 nm(LSC 50山)

タリロンド測定値 真円度126 nm (LSC 50山)