半导体寿命测试系统

硅板的寿命测试系统
(日本Napson公司)

在半导体硅板的加工过程中,越来越多的制造厂商开始重视对其寿命的测试,这个测试涉及对金属杂质含量及结晶瑕疵的判断和分析。因此日本NAPSON公司结合SUGAWARA的闪频仪技术,研发设计出针对硅板寿命测试的专用检测设备。

寿命测试是指用氙气闪光灯对硅板进行短暂照射增加正负极电子数量,在硅体电子数量伴随使用时间减少后,通过照射增加到原来的数量,恢复到初始状态。P型硅晶体通常会有大量正极电子,而N型则是负极电子偏多,通过氙气闪光灯的短暂照射,可以使各自的电子数量恢复到原始状态。