标定用轴心成功制造出来。

标定轴心具有5个120nm振幅特征

标定用轴心是用来校准微波机和圆度机的核心部件。在圆柱面上有预先定制的形状及幅值和几个尖峰存在。由于加工精度及工艺要求极高1µm,所以很难做出稳定的轴心。菅原经过数年艰苦专研,投入大量的人力物力,终于成功制造出来幅值0.1 µm (100 nm)的标定轴心。如图所示,圆柱面上加工了5个振幅为120 nm的特殊结构。
我们目前正在研制一种标定主轴,其25个峰值和振幅在100 nm – 800 nm范围内。

形状评估

菅原SWA-100 圆度测试设备测试数据 117.27 nm(LSC 50 尖峰)

Talyrond特勒圆度测试设备测试数据 126 nm(LSC 50 尖峰)